Chinesische Speicherhersteller CXMT und YMTC haben nach Berichten der Financial Times still und leise genug ASML-Lithografiesysteme gehortet, um ihre aggressiven Produktionsausbaupläne für die nächsten drei Jahre fortzuführen.
YMTC, Chinas größter NAND-Flash-Hersteller mit einem weltweiten Marktanteil von 14 Prozent, plant, die Produktion zu verdoppeln und zum weltweit führenden NAND-Flash-Hersteller aufzusteigen. CXMT, das DRAM einschließlich DDR5- und LPDDR6-Arbeitsspeicher mit einem weltweiten Anteil von etwa zehn Prozent herstellt, verfolgt ähnlich ehrgeizige Wachstumspläne.
ASML darf aufgrund von Exportbeschränkungen nur ältere Deep-Ultraviolet- (DUV-) Lithografiesysteme nach China verkaufen — moderne Extreme-Ultraviolet- (EUV-) Systeme bleiben tabu. Das Twinscan NXT:1980Di aus dem Jahr 2015 kostet bis zu 60 Millionen Euro pro Stück. Allein in den vergangenen vier Quartalen hat ASML Lithografiesysteme im Wert von rund 7,2 Milliarden Euro nach China geliefert, nachdem zuvor die quartalsweisen Lieferungen zwei Milliarden Euro überschritten hatten.
Die Hortungsstrategie ist eine Absicherung gegen sich verschärfende Exportkontrollen. ASML darf China bereits keine neueren DUV-Generationen verkaufen, die chinesischen Fabs bei den Mehrfachbelichtungen helfen würden, auf die sie mit ihren aktuellen Systemen angewiesen sind. Chinesische Chiphersteller profitieren nicht von DUV-Weiterentwicklungen, die schnellere Waferbelichtungen und atomgenaue Ausrichtung ermöglichen.
Huawei führt derweil Bemühungen an, einheimische Lithografiealternativen zu entwickeln. Berichten zufolge sollten Aishengna und Yuliangsheng in diesem Jahr fünf eigene DUV-Systeme produzieren; dieses Ziel soll laut Financial Times inzwischen auf zwölf gestiegen sein. Allerdings sind chinesische Fabs einschließlich SMIC bei der Einführung lokaler Ausrüstung weiter zögerlich, und die vollständige Zertizierung könnte Jahre dauern. Chinesische Alternativen sind bei Optikelementen und Lasern nach wie vor auf ausländische Komponenten angewiesen, darunter Zeiss-Optiken und Gigaphoton-Laser.
Die Ansammlung signalisiert, dass chinesische Chiphersteller sich auf eine Zukunft vorbereiten, in der der Zugang zu westlicher Halbleiterausrüstung zunehmend eingeschränkt wird, und investieren jetzt massiv, solange ältere DUV-Systeme noch erhältlich sind.
