China hat laut einer vertrauten Person mit der Massenproduktion selbst entwickelter Immersions-DUV-Lithografieanlagen begonnen – einer für die moderne Chipfertigung entscheidenden Technologie.
Die Produktion wird von der staatlichen Shanghai Aishengna Electronic Technology Group angeführt, die Teams von führenden chinesischen Lithografie-Startups integriert hat.
Aishengna wurde im August 2023 mit 7 Milliarden Yuan (1 Mrd. USD) gegründet. Das Unternehmen plant, in diesem Jahr etwa fünf DUV-Maschinen und 2027 rund 20 zu produzieren.
Immersions-DUV-Maschinen nutzen eine Wasserschicht zwischen der Linse und dem Wafer, um kleinere Schaltungsmuster zu drucken.
Die chinesischen DUV-Maschinen sollen noch in diesem Jahr an SMIC, Hua Hong Semiconductor und CXMT ausgeliefert werden.
Analysten warnen, dass dies keine unmittelbare Bedrohung für ASML darstellt. Dennoch verschafft die Entwicklung chinesischen Chipfertigern eine alternative Ausrüstungsquelle für den Fall weiterer Exportbeschränkungen.
